半导体行业会供应特种气体，如超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、氯气CL2、高纯氨NH3等特气（高纯氨在供应过程中需要大量吸热，需要权衡双套管的做法）
这些气体具有剧毒性，自然性，高反应性。如PH3剧毒易燃化学品。
因这些气体的特殊性，在供应这些气体时，会使用双套管。
什么是双套管？供应管路分为内管和外管，其中内管供应，外管保护，相当于内管穿上了一套金属铠甲。内管使用SS316LEP，外管使用SS304BA或SS316BA。（外管也可使用AP管道，降低成本）
设计目的：1.外管有抗击打能力，保护内管 2.内管被气体腐蚀破坏，气体会泄露到外管内，不至于扩散到空气中，危害人员安全。
问题来了，内管和外管之间抽负压好还是填充氮气好呢？我们列表对比一下
设计方式优点缺点负压设计灵敏度高
若泄露，不会影响制程
需要抽真空
若泄漏，易造成外管腐蚀
正压设计PN2保压方便
若泄漏，不易造成外管腐蚀
1.灵敏度较差2.若泄露，会污染制程结论：安全和制程角度，使用负压设计更优，不推荐使用正压设计。
问题：针对整套双套管系统，还有哪些好的设计呢？还有哪些特气会使用到双套管？
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